中毒原因：

真空室漏气或漏水，真空室内有挥发的成分，没有充入氩气，充入空气或其他其他，可能引起中毒，这些成分与靶材反应，变成黑色覆盖靶材表面，影响成膜速度。
解决办法：

将靶材用中频源或射频源打一两个小时，可以恢复；
将靶材拆出来，用砂纸抛光，也可解决；
防止靶材中毒，首先保证真空室不漏，清理内部，除去挥发成分等。